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低釋氣庫板

發布日期:2021-12-03????瀏覽次數:84
鑒于國內半導體不斷往納米微小化發展,潔凈車間對環境中氣態分子污染的要求不斷提高,低釋氣材料的適當替代遂成為建廠過程中的重要工程關鍵考慮。
為能更有效掌握質量與交貨期,公司于2018年在新興企業研發立項的專用資金支持下,展開低釋氣庫板開發,成功通ASTM測試,于2019年完成低釋氣庫板開發 。和已實際投入的工程改造高端浸潤式曝光機潔凈車間,高端半導體光阻生產車間等,獲得客戶廣泛認可。
 
 

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